정부가 반도체 공정 핵심 소재인 초순수(Ultra Pure Water) 자립화에 속도를 낸다. 초순수 산업의 국산화 범위를 기존의 핵심 기자재에서 초순수 공급 배관 등의 소재까지 확대하는 등 2030년까지 초순수 공급 전 과정 국산화율을 90% 이상으로 높이겠다는 계획이다.
기후에너지환경부는 26일 이러한 내용의 '차세대 초순수 생산·공급 및 자립형 생산공정 기술개발사업 2단계'를 추진한다고 밝혔다.
이번 2단계 사업을 시작하기 위해 기후부는 한국환경산업기술원, 테크로스워터앤에너지, 지앤지인텍 등 공공기관 및 관련업계와 27일 서울 프레지던트호텔에서 착수회의를 갖는다.
초순수는 반도체, 디스플레이, 이차전지 등 첨단산업 공정에서 웨이퍼와 생산설비를 세정하는데 사용되는 공업용수로 극미량의 유기물·입자·이온까지 제거해야 하는 등 고난도 수처리 기술이 필요하다.
초순수 생산 기술은 첨단 반도체 생산의 안정성과 직결되는 핵심기반 기술로 평가된다. 초순수 생산·공급 기술의 국산화와 공급망 확보의 필요성이 더욱 커지는 배경이다. 글로벌워터인텔리전스(GWI)에 따르면 세계 초순수 시장은 지난해 46조5000억원에서 2030년 58조9000억원까지 성장할 것으로 전망된다.
이와 관련해 기후부는 초순수 산업을 반도체 산업과 동반성장의 기회로 활용하기 위해 '고순도 공업용수 생산 국산화 기술개발사업 1단계 연구개발사업'을 2021년부터 추진했다.
1단계 사업 결과 △자외선 산화장치 △탈기막 △이온교환수지 등의 초순수 공정의 핵심 기자재를 국산화하는 데 성공했다.
국내 기술로 개발된 초순수를 SK실트론 구미사업장의 반도체웨이퍼 생산공정에 공급하고 이달 19일 기술이전을 완료해 현장 적용성·신뢰성 등을 검증했다.
2단계 사업은 1단계 사업 성과를 기반으로 추진되는 후속 연구개발 사업으로 초순수 생산 전과정의 핵심기술과 기자재 국산화를 확대해 2030년까지 초순수 기술의 자립화를 완성하는 것이 핵심이다.
특히 초순수 산업의 국산화 범위를 기존 핵심 기자재에서 초순수 공급 배관 등의 소재까지 확대한다. 초순수 공급 전 과정에 걸쳐 국산화율은 90% 이상 상향 조정한다. 탄소규제 대응 및 운영비 절감을 위한 저에너지형 초순수 실증설비 설계기술 개발도 추진한다.
또한 하수재이용수를 초순수 원수로 사용하기 위한 극미량 오염물질 제거기술을 개발해 안정적인 산업용수 공급체계를 구축할 계획이다.
초순수 분석기술 개발도 추진한다. 내년부터는 초극미량 분석기술 개발을 추진해 초순수를 만드는 기술뿐 아니라 생산된 초순수 품질을 정밀하게 평가할 수 있는 분석기술까지 확보한다는 계획이다.
김지영 기후부 물이용정책관은 "이번 2단계 초순수 연구개발사업은 단순 기자재 국산화를 넘어 초순수 생산 전과정의 기술자립과 지속가능한 공급체계를 구축하는 전환점"이라며 "국가 첨단전략산업의 경쟁력을 뒷받침하고 국내 물기업의 해외 초순수 시장 진출 기반을 마련하는 계기가 될 것"이라고 밝혔다.
