원익IPS, 반도체 소자 제조방법 특허권 취득

원익IPS는 4일 반도체 소자 제조방법에 대한 특허권을 취득했다고 공시했다.

회사측은 “반도체 제조 장치에 있어 서로 다른 유전율을 갖는 박막을 증착하는 방법에 관한 기술”이라며 “반도체 장비의 경쟁력을 강화하는데 활용할 계획”이라고 설명했다.


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