현재 전 세계 반도체 산업은 인공지능(AI)이 생활화됨에 따라 상상을 초월한 빠른 속도로 발전하고 있다. 이에 따라 반도체 제조 기술은 사람들의 지적 능력과 삶의 질을 높이는 신호등 역할을 하게 됐다.
이제까지의 반도체 산업 기술의 발전과 성장은 웨이퍼와 같은 한정된 공간에 더 많은 집(반도체 칩)을 짓는 Tech-Migration(공정 미세화)에 의해 결정됐다. 한정된 공간에 집과 도로 등을 계속 늘리기 위해 선폭이 나노미터 단위까지 초미세화 되고 트랜지스터 소자 또한 미세화 될수록 누설 전류가 증가해 전력 소모가 크게 증대됐다.
이에 따라 글로벌 반도체 Chip Maker들은 Tech-Migration 한계를 극복하기 위해 기존 수평 구조의 트랜지스터에서 수직 적층 구조의 트랜지스터(Vertical Channel Transistor)로의 전환에 주목했다. 높은 전자 이동도, 낮은 누설 전류, 높은 열안정성 등의 특징을 가진 차세대 트랜지스터 채널 소재를 상용화하기 위해 관련 소∙부∙장 기업들과 협업을 이어가고 있다.
특히, 고집적향 수직 적층 구조의 차세대 트랜지스터 제조에는 우수한 단차 피복성과 균일도 확보가 요구된다. 주성은 세계 최초 혁신 기술을 바탕으로 고종횡비 수직 적층 구조에서도 균일한 박막 성장과 증착을 할 수 있는 세계 최초 ALG Transistor FullIntegration 장비를 시장에 선보이며 세계 반도체 제조 산업의 새로운 기준을 만들어 가고 있다.
해당 장비에 적용된 세계 최초 ALG 혁신 기술은 반도체뿐 아니라 디스플레이, 태양광 장비에도 확대 적용돼 차세대 디스플레이의 시장 개화, 글로벌 신재생 에너지 전환의 핵심으로 자리 잡을 예정이다. 현재 북미, 아시아, 유럽, 중동 등의 글로벌 기업들과 활발하게 협업을 이어가고 있는 것으로 알려져 있다.
주성 관계자는 “단순 공정 장비 제작을 넘어 AI 시대에서 반도체 제조기술의 새로운 기준과 표준을 만들어 가고 있다는 것이 핵심”이라면서 “앞으로도 세계 최초 혁신 기술을 바탕으로 세계 반도체, 디스플레이, 태양광 제조 산업의 새로운 패러다임을 제시하겠다”고 말했다.
