KTL, 중부발전·카이스트와 반도체 공정 위한 '초순수' 생산 기술 개발

입력 2023-02-08 09:35

세종=박준상 기자 jooooon@etoday.co.kr

URL공유
카카오톡

페이스북
X(트위터)

작게보기
기본크기
크게보기

업무협약 체결…초순수 생산 기술 대외 의존도 줄인다

▲한국산업기술시험원이 7일 한국중부발전 등과 고순도 공업용수(초순수) 생산 국산화 기술개발 업무협약을 맺었다. 왼쪽부터 KAIST 김효전 건설 및 환경공학과 박사, KTL 고영환 환경기술본부장, 한국중부발전 임승관 보령발전본부장, 한국물기술인증원 안성환 기술연구실 부장. (사진제공=한국산업기술시험원)

한국산업기술시험원(KTL)이 반도체 생산공정에 필요한 초순수 생산 기술 개발에 나섰다.

KTL은 8일 한국중부발전, 한국과학기술원(KAIST), 한국물기술인증원과 고순도 공업용수(초순수) 생산 국산화 기술개발 업무협약을 중부발전 보령발전본부 대회의실에서 체결했다고 밝혔다.

초순수는 반도체 표면에서 각종 부산물, 오염물 등을 씻는 데에 사용하는 불순물이 거의 없는 공업용수다. 최고 난도의 물 처리 기술이 필요해 해외기술 의존도가 높은 상태다.

환경부와 한국환경산업기술원은 반도체 품질과 연결되는 초순수 생산기술의 국산화를 추진해 국내기업이 진출할 수 있도록 돕는 중이다. KTL은 이번 협약을 통해 초 저농도 용존산소 제거용 탈기막, 초 저농도 유기물 제거용 자외선 산화 장치, 초 저농도 이온 물질 제거용 이온교환수지 등 초순수 공정 전반에 필요한 국산화 소재와 기자재 연구를 수행한다.

이번 협약을 통해 KTL은 품질과 장비 성능에 대한 시험평가법 개발, 표준 마련을 추진한다. KAIST는 처리 과정 중 배관 등 기자재에서 발생하는 용출에 대한 성능평가법 개발과 표준 마련을 진행한다. 인증원은 용수와 용출 성능평가법을 기반을 둔 성능 인증제, 중부발전은 초순수 생산기술 성능 검증 여건을 제공한다.

고영환 KTL 환경기술본부장은 "국가 핵심기술인 반도체 공정용 초순수 개발은 반도체 기반산업 구축의 초석"이라며 "초순수용 설비 성능평가법 표준화와 국산, 외산의 비교 성능 실험을 통해 한국 기술이 국내 외에 세계에서도 경쟁하도록 최선을 다하겠다"고 밝혔다.