네덜란드 ASML 독주 흔들지 촉각
중국 국유기업 ‘상하이아이성나전자기술그룹(Shanghai Aishengna Electronic Technology Group)’이 자체 개발한 액침식 심자외선(DUV) 노광장비의 양산을 시작했다고 소식통을 인용해 로이터통신이 28일(현지시간) 보도했다.
미국 IT 전문 매체 디인포메이션이 전날 익명의 상하이 기업이 DUV 노광장비 생산을 시작했다고 전한 이후 로이터가 해당 기업의 실체를 처음으로 확인한 것이다.
소식통에 따르면 아이성나는 중국 주요 노광장비 스타트업의 연구개발 인력을 흡수한 뒤 이번 양산 프로젝트를 주도하고 있다. DUV 노광장비는 첨단 반도체 제조에 필수적인 기술이다.
이번 성과는 시진핑 중국 국가주석이 최우선 과제로 추진해온 국가 차원의 반도체 자립 정책의 주요 진전으로 여겨졌다.
다만 당장 네덜란드 노광장비 업체 ASML의 상업적 지위를 위협할 수준은 아니라는 평가다. 소식통은 로이터에 “아이성나의 DUV 장비가 앞으로 추가적인 시험이 필요하다“면서 ”사실상 노광장비 시장을 독점하고 있는 ASML의 장비 성능에는 아직 크게 미치지 못한다”고 말했다.
그러나 중국산 장비가 성공적으로 현장에 도입되면 서방 국가들이 노광장비의 수출이나 유지·보수 서비스를 추가 제한하더라도 중국 반도체 업체들은 자체 대체 장비를 확보할 수 있게 된다.
디인포메이션은 복수의 소식통을 인용해 중국산 DUV 장비가 올해 중국 파운드리 업체 중신궈지(SMIC)와 화홍반도체, 메모리 반도체 업체 창신메모리테크놀로지(CXMT) 등에 공급될 예정이라고 전했다.
액침 DUV 장비는 투영 렌즈와 실리콘 웨이퍼 사이에 물층을 형성해 기존 건식(Dry) DUV 장비보다 더 미세한 회로 패턴을 구현하는 방식이다. 다양한 반도체 생산에 활용되며, 동일한 층을 여러 차례 노광하는 멀티 패터닝(Multiple Patterning) 기술을 적용하면 보다 첨단 반도체 제조에도 사용할 수 있다.
한편 ASML 미국예탁증서(ADR)는 이날 뉴욕증시에서 4.24% 하락 마감했다. 전날도 5.80% 급락했다.
