테스가 탄소계 액체 전구체 관련 특허권을 취득했다고 26일 공시했다. 이는 반도체 장비에 적용되는 기술이다.
회사 측은 "장비 제조시 특허기술을 적용해 제품경쟁력을 강화할 계획"이라고 설명했다.
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테스, 탄소계 액체 전구체 관련 특허권 취득
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