일본 독점 '반도체 초순수'…기술 독립 본격 추진

반도체 생산 과정에서 필수 요소지만 일본이 독점하고 있는 '초순수(初純水·Ultra Pure Water)' 기술 국산화가 추진된다.

환경부는 한국수자원공사, 한국환경산업기술원, 관련 업계와 함께 '고순도 공업용수 설계·시공·운영 통합 국산화 기술개발' 사업에 착수하고, 이를 통해 반도체 사업의 필수원료인 초순수의 생산기술 국산화를 본격적으로 추진한다고 14일 밝혔다.

초순수는 일반물속의 무기질·미립자·박테리아·미생물· 용존가스 등을 제거한 고도의 정제수다. 반도체 제조 공정 전후에 진행되는 세정작업에 활용되며 반도체 생산성을 높이는 필수 요소다.

하지만 초순수 생산기술은 현재 일본이 독점하다시피 하는 상황이다. 특히 공정설계, 초순수 배관, 수처리 약품 등을 일본에 의존하고 있어 수출규제 등 외부환경에 매우 취약했다. 이에 정부는 수출규제에 대응하는 조치로 국산화 기술개발에 뛰어들었다.

연구 기간은 2025년까지 약 5년으로 총연구비는 정부 출연금 300억 원과 민간 부담금 180억 원 등 480억 원 규모다. 참여하는 민간 기업은 고순도 공업용수 설계-시공-운영 통합 국산화 기술개발에 참여하는 한성크린텍과 진성이엔씨를 비롯해 에코셋, 네오텍, 클루, 세프라텍, 태영건설, 해성엔지니어링, 디에치테크, 케에피아이엔디 등이 나머지 4개 세부과제별 연구에 참여한다.

김동진 환경부 수자원정책관은 "고순도 공업용수는 비단 반도체뿐만 아니라 제약·바이오·정밀화학 등 고부가가치 산업에서 수요가 점차 확대되고 있다"며 "이번 기술개발 사업이 차질없이 이행될 경우 해외 기술 의존도 탈피와 더불어 국내 수처리 업계의 해외 시장 진출 기반을 마련하는 발판이 될 것"이라고 강조했다.