원익IPS, 챔퍼 세정 방법 관련 특허권 취득

입력 2013-06-17 13:49

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김혜진 기자

원익IPS는 비정질탄소막 증착공정에서의 챔버 세정 장치 및 이를 이용한 챔버 세정 방법에 관한 특허권을 취득했다고 17일 공시했다.

이와 관련 회사 측은 “당사 반도체 장비의 경쟁력 강화할 것”이라고 밝혔다.

#원익아이피에스 #원익IPS #원익IPS

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