원익IPS는 비정질탄소막 증착공정에서의 챔버 세정 장치 및 이를 이용한 챔버 세정 방법에 관한 특허권을 취득했다고 17일 공시했다.
이와 관련 회사 측은 “당사 반도체 장비의 경쟁력 강화할 것”이라고 밝혔다.
e스튜디오
원익IPS, 챔퍼 세정 방법 관련 특허권 취득
- 대표이사
- 조남성, 장성대 (각자대표이사)
- 이사구성
- 이사 8명 / 사외이사 3명
- 최근 공시
- [2025.12.17] 단일판매ㆍ공급계약체결
- [2025.12.15] 주주명부폐쇄기간또는기준일설정
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