테스는 3일 공정 균일도를 향상시킬 수 있는 기판 처리 장치 관련 특허권을 취득했다고 공시했다.
회사측은 장비 제조시 특허기술 적용을 통한 제품경쟁력 강화하겠다고 밝혔다.
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[공시]테스, 기판 처리 장치 관련 특허 취득
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