에프에스티, EUV 펠리클 개발 성과 가시화…차세대 성장 동력 주목

▲에프에스티 로고가 보이는 24일, 경기도 화성 본사에서 반도체용 EUV 펠리클 등 핵심 소재 사업의 성장세가 주목받고 있다.

반도체 펠리클 기업 에프에스티(FST)가 개발 중인 극자외선(EUV) 펠리클의 가시적 성과가 나오는 것으로 확인됐다. 순조롭게 개발이 이뤄지면 새로운 먹거리 사업으로 도약할 전망이다.

29일 에프에스티 관계자는 "다년간 개발해온 EUV 펠리클 기술의 여러 기술력을 축적해 가시적 성과가 나오고 있다"고 말했다.

펠리클은 웨이퍼에 반도체 공정 중 '노광' 단계에서 포토마스크를 보호하기 위해 사용하는 얇은 막이다. 마스크에 먼지가 붙지 않도록 보호하는 일종의 투명 방어막이라고 보면 된다.

극자외선(EUV) 공정용은 내열성과 내방사성이 뛰어난 첨단 소재가 필요한 것으로 알려져 있다.

에프에스티도 기존 펠리클 기술력을 토대로 EUV 펠리클 부품의 개발을 진행 중이다.

EUV 펠리클은 제작이 어렵고 고부가가치 품목으로 빛의 투과율, 열 안정성, 진공 환경 대응 등 까다로운 기술적 조건을 만족해야 한다.

고난도 기술을 요구하는 사업으로 시장 성장세가 예상된다.

시장조사업체 그랜드뷰어리서치에 따르면 글로벌 EUV 펠리클 시장 규모는 올해부터 2030년까지 연평균 성장률(CAGR) 14.4% 성장해 16억 달러로 성장할 전망이다.

1987년 설립된 에프에스티는 반도체 및 디스플레이용 핵심 소재·장비를 자체 개발·생산하는 중견 소재·장비 전문기업이다. 경기도 화성 동탄산업단지에 본사를 두고 있으며, 주요 사업부인 펠리클, 칠러, 검사·온도제어(APS/TCU)를 중심으로 독자 기술력을 구축했다.

에프에스티는 2030년까지 펠리클과 칠러 분야 1조 원 매출 기업을 목표로 하고 있으며, 이를 위해 신소재와 핵심 사업부 경쟁력 강화에 주력하고 있다.

칠러는 반도체 제조 공정 중 온도와 습도를 정밀 제어하는 장비입니다. 컴프레서형, 냉동형, 열전기 기반 등 다양한 라인업을 보유하고 있다

특히 극저온 식각용 칠러(영하 70~80℃) 제품으로 TEL, 램리서치 등 글로벌 장비 업체에 공급 중이며, 높은 판매 단가(평균판매가)와 기술 경쟁력을 갖추고 있다.

1분기 연결 기준 매출액은 684억 원으로 전년 동기 대비 37% 증가했고, 영업이익은 27억 원으로 흑자 전환했다.