참엔지니어링은 30일 기판처리장치에 대한 특허권을 취득했다고 공시했다.
회사측은 "챔버 스테이지부의 수평도를 외부에서 조절해 기판의 오염 및 불량을 감소시키는 기술에 관한 것"이라며 "특허를 활용해 기판의 수율을 증가시킬 계획"이라고 설명했다.
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참엔지니어링, 기판처리장치 특허권 취득
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