탑엔지니어링이 대전방지용 시트 및 이를 포함한 대전방지된 작업 스테이지 관련 특허를 취득했다고 16일 공시했다.
회사 관계자는 “이번 발명의 작업 스테이지는 반도체 제조 장비, 디스플레이 장치 및 테스트 장치 등의 대전방지가 필요한 작업 스테이지에 적용 가능하다”며 “탄소나노튜브를 포함한 대전 방지 물질을 작업 스테이지에 코팅함으로써 작업 스테이지의 마찰계수가 낮고 내마모성이 우수해 내구성이 향상된다”고 말했다.
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