원익아이피에스, 기판 이송 장치 특허 취득

입력 2012-09-17 14:20

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원익아이피에스는 17일 처리될 기판의 이송 시간을 단축시키고 정확한 위치에 놓기 위한 장치 및 방법에 관한 특허를 취득했다고 공시했다.

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