원익IPS는 4일 반도체 소자 제조방법에 대한 특허권을 취득했다고 공시했다.
회사측은 “반도체 제조 장치에 있어 서로 다른 유전율을 갖는 박막을 증착하는 방법에 관한 기술”이라며 “반도체 장비의 경쟁력을 강화하는데 활용할 계획”이라고 설명했다.
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원익IPS, 반도체 소자 제조방법 특허권 취득
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