코미코가 반도체 장비 핵심부품을 국산화했다는 소식에 이틀 연속 가격제한폭까지 치솟았다.
5일 오전 9시8분 현재 코미코는 전날보다 380원(14.93%) 오른 2925원에 거래되고 있다.
코미코는 지난 3일 국내 최초로 반도체 박막공정용 300mm 질화알미늄(AIN) 세라믹히터 개발 및 상용화에 성공했다고 밝혔다.
ANI세라믹히터는 반도체 핵심 공정인 화학기상증착(CVD) 공정에서 온도 안정성을 유지하면서 웨이퍼를 고온으로 직접 가열하는 역할을 하며 그 동안 국내에서는 생상되지 않아 연간 1000억원 가량이 수입, 사용된 소모성 부품이다.
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