비아이이엠티는 7일 태양광 웨이퍼 텍스쳐링 공정시 사용되는 플라즈마 배기가스 순환 시스템에 관한 특허권을 취득했다고 공시했다.
회사 측은 당사 태양광 장비사업에 적용, 경쟁력 강화에 나설 것이라고 밝혔다.
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[공시]비아이이엠티, 플라즈마 배기가스 순환 시스템 관련 특허
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