원익아이피에스는 2일 웨이퍼 센터링 방법에 대한 특허권을 취득했다고 공시했다.
이는 반도체 제조 장치에 있어서 진공 상태의 이송 챔버 내부에서 웨이퍼를 공정 챔버로 이송 시킬때 웨이퍼의 중심점을 맞추기 위한 방법이다.
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