에스엔유프리시젼은 18일 증착장비에서 방출된 소스가 장비를 손상시키는 것을 기술적으로 제어하는 진공증착장비 특허권을 취득했다고 공시했다. 회사측은 OLED 및 태양광용 제조장비에 활용할 계획이라고 밝혔다.
아울러 에스엔유프리시젼은 박막의 두께 및 표면형상을 측정하는 기술에 대한 특허도 취득했다. 회사측은 LCD 및 반도체용 제조장비 활용할 계획이라고 밝혔다.
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