SK하이닉스 이석희 사장은 4일 열린 3분기 실적 콘퍼런스콜에서 "올해 말 완공되는 이천 M16에는 EUV(극자외선) 전용 클린룸 공간이 이미 마련됐다. 장비도 일정대로 입고될 것"이라며 "10나노 4세대 D램부터 적용해 생산할 계획"이라고 밝혔다.
이어 "(D램 생산 EUV 적용은) 예정대로 잘 진행되고 있다. EUV 지식과 역량은 연구소 EUV 장비를 통해 충분히 확보됐다"고 덧붙였다.
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