위지트는 기판의 온도 균일성이 향상된 서셉터와 관련한 특허를 취득했다고 2일 공시했다. 회사 측은 “특허기술이 적용된 제품은 온도 균일성과 히터의 수명이 향상돼 공정 중 기판의 얼룩 발생을 방지할 수 있다”고 밝혔다.
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