에스엔유는 마이크로웨이브 가열을 이용한 기화장치 및 이를 구비한 진공증착시스템으로 특허를 취득했다고 29일 밝혔다.
회사측은 "이번 특허를 활용해 한층 정밀한 증착시스템을 운용할 수 있다"고 밝혔다.
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