테스, 박막증착장치 특허권 취득

테스는 7일 박막증착장치에 관한 특허권을 취득했다고 공시했다.

회사 측은 "이번 특허는 디스플레이 장비에 적용되는 기술로, 여러 개의 기판을 동시에 이동시키면서 복수개의 가스공급부에 의해 가스를 공급함으로써 기판 처리량을 향상시킬 수 있다"고 밝혔다.

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