디엠에스는 28일 적층형 기판처리시스템의 반송장치 특허를 취득했다고 밝혔다.
디엠에스 관계자는 “ 발명은 디스플레이 기판처리장치에 관한 것으로, 상부 기판이송부재의 구조를 개선하여 기판을 상하로 용이하게 이송시킬 수 있는 적층형 기판처리장치에 관한 것”이라고 설명했다.
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디엠에스, 기판처리시스템 반송장치 특허 취득
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