원익IPS, 진공처리시스템 관련 특허 취득

입력 2014-08-05 13:45

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김희진 기자

원익IPS는 진공처리시스템 및 이에 사용되는 버퍼 모듈, 진공처리 시스템의 트레이 이송 방법에 관한 특허를 취득했다고 5일 공시했다.

#원익IPS
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