원익IPS는 진공처리시스템 및 이에 사용되는 버퍼 모듈, 진공처리 시스템의 트레이 이송 방법에 관한 특허를 취득했다고 5일 공시했다.
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원익IPS, 진공처리시스템 관련 특허 취득
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- [2025.12.17] 단일판매ㆍ공급계약체결
- [2025.12.15] 주주명부폐쇄기간또는기준일설정
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