테스는 인젝터 모듈 및 이를 사용하는 플라즈마 반응 장치의 특허권을 취득했다고 21일 공시했다.
회사측은 "챔버 내부로 유입되는 공정가스가 원하지 않는 곳으로 유동하는 것이 저지되어, 균일한 박막 형성과 공정가스의 불필요한 소모를 줄일 수 있다"고 밝혔다.
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테스, 플라즈마 반응 장치 관련 특허 취득
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테스는 인젝터 모듈 및 이를 사용하는 플라즈마 반응 장치의 특허권을 취득했다고 21일 공시했다.
회사측은 "챔버 내부로 유입되는 공정가스가 원하지 않는 곳으로 유동하는 것이 저지되어, 균일한 박막 형성과 공정가스의 불필요한 소모를 줄일 수 있다"고 밝혔다.