입력 2013-12-17 13:45
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테스는 박막 증착장치 관련 특허권을 취득했다고 17일 공시했다. 회사 측은 “이번 특허는 기판 표면에 증착을 균일하기 이뤄지도록 하는 것”이라고 밝혔다.
