테스, 대면적 기판 처리 장치 특허 취득

입력 2013-05-28 10:50

  • 작게보기

  • 기본크기

  • 크게보기

이미정 기자

테스는 28일 기판의 대면적화에 따른 반응 챔버의 공간적 제약을 제거할 수 있는 대면적 기판 처리 장치 관련 특허를 취득했다고 공시했다.

#테스 #대면적 #기판 #처리 #장치

(주)테스 (095610)
대표이사
주숭일, 이재호 (각자 대표이사)
이사구성
이사 4명 / 사외이사 1명
최근 공시
[2025.12.15] 주주명부폐쇄기간또는기준일설정
[2025.12.15] 현금ㆍ현물배당결정
  • 좋아요0
  • 화나요0
  • 슬퍼요0
  • 추가취재 원해요0
주요뉴스
댓글
0 / 300
e스튜디오
  • 2차전지 상상도 못 한 일 벌어진다! 포스코 대반전은 '이때' ㅣ 윤석천 경제평론가 [찐코노미]
많이 본 뉴스
뉴스발전소
  • 이찬원→신동엽 출격하는데⋯딜레마 빠진 '지상파 시상식' [엔터로그]
  • 이찬원→신동엽 출격하는데⋯딜레마 빠진 '지상파 시상식' [엔터로그]