테스, 히터 레벨링 장치 관련 특허권 취득

입력 2012-11-15 16:11

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구성헌 기자

테스는 히터 레벨링 장치에 관한 특허권을 취득했다고 15일 공시했다. 회사측은 “이번 특허는 막두께의 균일성을 향상시킬 수 있고 챔버내의 히터나 샤워헤드의 상태에 따라서 기판이 안착된 히터와 샤워헤드의 간격을 미세하게 조정할 수 있다”고 설명했다.

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