원익IPS는 10일 복수기판 처리장치 관련 특허권을 취득했다고 밝혔다.
회사 측은 반도체 장비의 경쟁력 강화를 위해 특허를 활용할 계획이라고 덧붙였다.
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원익IPS, 복수기판 처리장치 관련 특허 취득
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