주성엔지니어링, 챔버 세정방법 특허권 취득

입력 2012-01-17 15:18

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김지영 기자

주성엔지니어링은 17일 원격 플라즈마를 이용한 챔버 세정밥법에 대한 특허권을 취득했다고 공시했다.

회사측은 이번 특허를 적용하여 당사의 반도체 사업 경쟁력을 강화할 것이라고 밝혔다.

주성엔지니어링(주) (036930)
대표이사
황철주, 이우경, 황은석(3인 각자대표이사)
이사구성
이사 7명 / 사외이사 4명
최근 공시
[2026.03.26] 정기주주총회결과
[2026.03.26] 사외이사의선임ㆍ해임또는중도퇴임에관한신고
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