주성엔지니어링은 17일 원격 플라즈마를 이용한 챔버 세정밥법에 대한 특허권을 취득했다고 공시했다.
회사측은 이번 특허를 적용하여 당사의 반도체 사업 경쟁력을 강화할 것이라고 밝혔다.
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주성엔지니어링, 챔버 세정방법 특허권 취득
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