[공시]원익IPS, 샤워헤드 및 기판처리장치 특허권 취득

입력 2011-10-10 14:29

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이재현 기자

원익IPS는 10일 샤워헤드 및 이를 이용한 기판처리장치에 대한 특허권을 취득했다고 공시했다.

회사측은 “반도체 제조 장치 내부를 세정하기 위한 세정가스 공급수단에 대한 특허권”이라며 “향후 생산성을 높이기 위해 반도체 장비에 적용할 예정”이라고 말했다.

(주)원익홀딩스 (030530)
대표이사
조남성, 장성대 (각자대표이사)
이사구성
이사 8명 / 사외이사 3명
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