[공시]테스, 태양전지 제조장치 관련 특허 취득

입력 2011-07-05 14:05

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전보규 기자

테스는 인라인 기판 처리시스템 및 공정챔버에 대한 특허를 취득했다고 5일 공시했다.

회사 측은 "이번 특허는 종래의 태양전지 제조시스템과 동일한 공정을 수행하면서도 기판의 이송거리를 감소시켜 생산성을 증대시키는 장점"이 있다고 설명했다.

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