주성엔지니어링은 15일 균일한 대면적 플라즈마 발생을 위한 고주파 전원 공급장치에 대한 특허권을 취득했다고 공시했다.
회사측은 "이번 발명은 전력을 안정적으로 공급하여 균일한 플라즈마를 발생시키는 것에 관한 특허이며 반도체, FPD, 태양전지 장비의 경쟁력 강화에 활용할 예정이다"고 말했다.
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[장마감후 공시]주성엔지니어링, 고주파 전원 공급장치 특허권 취득
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