코미코는 파티클(미립자) 제거 방법·장치와 이 제거 방법를 이용해 파티클 을 측정하는 방법·장치에 대해 특허를 취득했다고 8일 공시했다.
코미코 측은 이번 특허를 반도체 제조장비용 부품의 정밀세정에 활용할 계획이라고 밝혔다.
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[공시]코미코, 파티클 제거 및 측정에 대한 방법·장치 특허 취득
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