
반도체 공정 설비 특수코팅 전문기업 그린리소스가 국내 파운드리 고객사향 납품물량이 증가 중인 것으로 확인됐다. 다수의 대형 프로젝트도 진행중인 것으로 알려진 그린리소스는 고객사의 본격적인 파운드리 반도체 성장 기대감을 키우고 있다.
20일 그린리소스 관계자는 “국내 파운드 고객사향 납품 물량이 증가 중이다”라고 말했다.
2011년 설립된 그린리소스는 반도체에 적용되는 초고밀도 특수코팅 사업 등을 주력으로 하고 있다. 2013년 일본 기업이 독점하던 코팅 소재를 희토류를 활용해 처음으로 국산화에 성공했다. 이후 2016년부터 반도체 및 디스플레이 식각장비 부품 코팅 시장으로 사업반경을 넓히고 있다.
반도체의 초미세화로 인해 식각 공정의 중요성은 점차 커지는 추세다. 시장조사기관 ‘글로벌 인포메이션’에 따르면 글로벌 반도체 분야의 식각장비 시장은 2030년 490억 달러(65조 원) 규모가 될 전망이다. 식각 공정은 반도체 웨이퍼 중 필요한 부분만 남기고 나머지 부분을 제거하는 공정이다.
물리적기상증착(PVD) 기반의 특수 보호코팅은 기존 코팅 기술에 비해 매우 밀도가 높다. 소재 입자 크기가 분자 단위이며 코팅층 밀도는 99.9% 이상이다. 기존 범용 코팅 기술인 대기플라즈마분사(APS)는 10~45마이크로미터의 소재 입자 크기를 밀도 95%로 코팅할 수 있다. 서스펜션플라즈마분사(SPS) 코팅기술은 0.5~10마이크로미터의 소재 입자 크기이며 코팅층 밀도는 99%다.
또한 PVD 기반의 특수 보호코팅은 APS, SPS 코팅기술과 달리 분말이 아닌 증기로 시작되며 분자 단위 코팅막으로 내식성 측면에서 우수하다. 현재 회사는 반도체 파운드리 기업에 공급 중으로 향후 반도체 식각 장비사 공급을 목표로 하고 있다.
국내 반도체 파운드리 시장 회복과 함께 다수의 대형 프로젝트가 진행 중인 그린리소스는 하반기에는 반도체 초고밀도 보호특수코팅 부문 실적 성장도 기대된다. 여기에 바이오 원료 상품 매출이 급증하기도 했다.
올 상반기 매출액이 457억 원을 기록해 전년 동기 대비 443.50% 증가했고, 같은 기간 영업이익은 19억 원으로 54.42% 증가했고 순이익은 43억 원으로 227.18% 늘었다.
회사 측에 따르면 이번 실적 성장은 1분기에도 호실적을 거둔 친환경 에너지 신규 사업이 견인했다. 바이오 중유 등의 상품 매출이 2분기에도 꾸준히 이어지며, 지난해 연간 매출이었던 185억 원을 1분기와 2분기 모두 초과 달성했다는 설명이다. 신규 사업은 단기간에 안정적인 매출원으로 자리 잡으며 회사 성장의 한 축으로 부상했다.











