테스, 반도체 장비 관련 기술 특허 취득

입력 2018-03-06 16:17

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최두선 기자

테스는 플라즈마를 이용한 비정질 탄소막의 증착 방법에 관한 특허권을 취득했다고 6일 공시했다.

회사 측은 "특허와 관련된 기술을 반도체 장비에 적용하고 연구개발에 응용해 제품 경쟁력 강화에 활용할 계획이다"라고 말했다.

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