파이컴은 14일 감지용 프로브를 포함하는 프로브 카드 제작 방법 및 그프로브 카드, 프로브 카드 검사 시스템과 관련해 특허를 취득했다고 밝혔다.
파이컴 관계자는 "본 발명은 감지용 프로브를 포함하는 프로브 카드에 관한 것으로써, 프로브 카드에 검사용 프로브와는 별도로 감지용 프로브를 더 구비시켜 웨이퍼의 평탄도 및 프로브의 과동작(Over Drive)을 감지하여 실시간으로 검사자에게 알려줌으로써 작업시간을 단축시키고 검사 신뢰도를 높이는 효과가 있다"고 설명했다.
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