디엠에스, 기판처리장치 특허 취득

입력 2006-09-13 11:09

김정화 기자

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디엠에스는 13일 기판처리장치와 관련해 특허를 취득했다고 밝혔다.

디엠에스 관계자는 "본 발명은 평판 디스플레이 기판을 세정하거나 기판을 처리하기 위한 베스에 적용되는 에어 커튼의 부품수를 줄여 장치의 제조비용을 절감할 수 있는 기판처리장치에 관한 것"이라고 설명했다.

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