테스, 디스플레이 장비 적용 기술 특허 취득

입력 2014-05-28 13:56

김유진 기자

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테스는 디스플레이 및 태양전지 장비등에 적용되는 기술인 트레이 및 이를 구비한 기판처리장치에 관련한 특허권을 취득했다고 28일 공시했다.

이 기술은 기판의 이송시 위치가 이탈되는 것이 방지되며, 기판의 처리시에는 기판의 가장자리까지 균일하게 처리할 수 있다. 공정 수행 시 안정성을 향상시키는 효과가 있을 것으로 기대된다.

테스는 신규 제품 개발 시 특허기술 적용을 통해 제품경쟁력을 강화할 계획이다.

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