로체시스템즈는 웨이퍼 식각 시스템 및 공정에 대한 특허권을 취득했다고 5일 공시했다.
웨이퍼 식각 시스템 및 공정은 로체시스템즈의 반도체 제조공정라인에 적용될 예정이다.
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로체시스템즈, 웨이퍼 식각 시스템 특허 취득
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