로체시스템즈, 웨이퍼 식각 시스템 특허 취득

입력 2014-03-05 12:49

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김유진 기자

로체시스템즈는 웨이퍼 식각 시스템 및 공정에 대한 특허권을 취득했다고 5일 공시했다.

웨이퍼 식각 시스템 및 공정은 로체시스템즈의 반도체 제조공정라인에 적용될 예정이다.

#로체시스템즈 #로체시스템즈

로체시스템즈(주) (071280)

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