참엔지니어링은 8일 막형성 장치에 대한 특허권 3건을 취득했다고 공시했다.
회사 측은 “본 특허기술을 활용해 기판의 수율 증가가 기대된다”고 밝혔다.
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참엔지니어링, 막형성 장치 관련 특허권 3건 취득
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참엔지니어링은 8일 막형성 장치에 대한 특허권 3건을 취득했다고 공시했다.
회사 측은 “본 특허기술을 활용해 기판의 수율 증가가 기대된다”고 밝혔다.