참엔지니어링, 기판처리장치 관련 등 특허 2건 취득

입력 2013-05-31 15:32

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참엔지니어링은 기판처리장치 관련 특허와 기판 후면 세정 장치 및 방법에 관련된 특허를 취득했다고 31일 공시했다.

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