에스엠이씨는 더블암식 삼단 카세트 이송로봇관련 특허권을 취득했다고 18일 공시했다.
회사 측은 “기존의 지상에서 카세트를 운반하는 로봇과 달리 천정에 레일과 주행대차를 설치하고 주행대차에 로봇을 설치해 기판이 적재된 카세트를 공중에서 이송하는 로봇에 관한 것”이라며 “더블암식 이단 카세트 로봇과 비교해 승강 높이를 증가 시킬 수 있다는 장점을 갖는다”고 밝혔다.
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