원익아이피에스, 국내 특허 획득

입력 2012-04-03 14:07

구성헌 기자

  • 작게보기

  • 기본크기

  • 크게보기

원익아이피에스는 하부주입 RPG 세정용 공정 챔버에 대한 국내 특허를 획득했다고 3일 공시했다.

회사 관계자는 “이번 특허는 공정 챔버 내부(하부)를 세정하기 위해 별도의 세정가스 분사부를 갖는 공정 챔버다”며 “이를 활용해 당사 반도체 장비에 적용하여 경쟁력을 강화시키겠다”고 말했다.

  • 좋아요0
  • 화나요0
  • 슬퍼요0
  • 추가취재 원해요0
주요뉴스
댓글
0 / 300
e스튜디오
  • 예상치 못한 호재 터진다! / 삼성전자 스타게이트 전 세계 놀랄 큰 그림 ㅣ 염승환 LS증권 이사 [찐코노미]
많이 본 뉴스
뉴스발전소
  • [찐코노미] '6층' 노리는 삼성전자, 예상치 못한 호재 터진다?
  • [찐코노미] '6층' 노리는 삼성전자, 예상치 못한 호재 터진다?