[장마감후공시]쎄미시스코, 공정챔버 플라즈마 광세기 감쇄장치 특허 취득

입력 2012-01-09 17:48

이재현 기자

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쎄미시스코는 9일 공정챔버의 플라즈마 광세기 감쇄장치에 대한 특허권을 취득했다고 공시했다.

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