입력 2012-01-04 14:44
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테스는 4일 플라즈마 처리장치에 관련한 특허권을 취득했다고 밝혔다.
회사 측은 플라즈마 발생전극에 생성되는 플라즈마의 균일성을 향상시킬 수 있는 특허라고 설명했다.