ATS엔지니어링, 초대형 진공 부품 국산화 성공

입력 2011-08-29 14:08

디스플레이 및 반도체 진공 장비 전문 기업 ATS엔지니어링은 11세대 이상의 LCD, 태양광용 주요 장비에 적용이 가능한 진공 게이트 밸브(Vacuum Gate Valve)의 개발을 완료, 국내 장비기업에 시험 공급했다고 29일 밝혔다.

진공 게이트 밸브는 LCD·OLED·태양광패널 주요생산공정인 식각, 증착이 이뤄지는 진공 챔버 밀폐문이다.

진공 게이트 밸브는 공정의 안정성을 위해 밀폐성, 내화학성, 내플라즈마성이 높아야 하며 미세공정에 부응하기 위해 구동 중 미세먼지 생성이 억제돼야 한다.

초대면적화가 요구되고 있는 LCD Panel 업체의 수요에 대응하기 위해 초대형(4000mm) 크기의 문이 10초 이내의 빠른 속도로 열리고 닫혀야 해 높은 기술수준도 요구된다.

지금까지 진공게이트밸브는 대부분 일본과 스위스 등의 해외 제품을 수입해 왔으나 2005년 ATS엔지니어링이 7세대 게이트밸브의 국산화 성공과 함께 국내외 주요 장비기업에 경쟁력 있는 가격에 공급할 수 있게 됐다.

김경수 ATS엔지니어링 대표는 “이번 초대형 진공 게이트 밸브의 개발을 바탕으로 내년부터 LCD, OLED 및 태양광으로 적용 범위를 확대할 계획이다”라며 “합리적인 가격과 빠른 고객 서비스로 전방산업의 부품국산화에 일조하겠다”고 말했다.