테스는 기판 처리장치에 관한 특허권을 취득했다고 12일 공시했다.
이번 특허는 반응공간에서의 가스 밀도와 반응 온도를 향상시켜 박막의 증착효율을 향상시키는 기술이다.
회사 측은 “이 기술을 적용해 제품경쟁력을 강화할 것”이라고 밝혔다.
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