테스는 12일 플라즈마처리장치 특허권을 취득했다고 공시했다.
테스 관계자는 “이번 특허는 플라즈마의 분포 밀도를 높여 공정시간을 단축시키고 공졍 효율을 높일 수는 기술”이라며 “반도체 및 태양전지 장비 개발에 활용해 반도체장비 제조 경쟁력을 강화하고 기술경쟁력과 원가 경쟁력을 향상시킬 것”으로 기대했다.
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