테스는 1일 기판 반송용 블레이드 및 이를 구비하는 기판 반송장치 관련 특허권을 취득했다고 밝혔다.
회사측은 "반도체장비 제조시 특허기술 적용을 통한 경쟁력 강화와 기술경쟁력과 원가경쟁력이 향상될 것으로 예상된다"며 "반도체 및 태양전지 장비 개발에 활용할 계획이다"고 덧붙였다.
테스는 1일 기판 반송용 블레이드 및 이를 구비하는 기판 반송장치 관련 특허권을 취득했다고 밝혔다.
회사측은 "반도체장비 제조시 특허기술 적용을 통한 경쟁력 강화와 기술경쟁력과 원가경쟁력이 향상될 것으로 예상된다"며 "반도체 및 태양전지 장비 개발에 활용할 계획이다"고 덧붙였다.